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週次 |
日期 |
單元主題 |
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第1週 |
9/16 |
內容介紹 |
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第2週 |
9/23 |
MEMS 簡介，Scaling Laws (楊) |
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第3週 |
9/30 |
微電子製程，Cleanroom Process (蘇) |
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第4週 |
10/07 |
微機電製程簡介 (蘇) (HW#1 issued) |
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第5週 |
10/14 |
Silicon bulk micromachining (蘇) |
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第6週 |
10/21 |
Silicon surface micromachining (蘇) |
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第7週 |
10/28 |
系統動態分析與模擬 (楊) (HW#1 due) |
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第8週 |
11/04 |
Guest Lecturer:Prof. Yu-Ching Lin 林育菁 助理教授
Topic: Smart systems integration with advanced material MEMS
講題：先進材料微機電之智慧系統整合 (蘇) |
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第9週 |
11/11 |
系統動態分析模擬 (楊) |
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第10週 |
11/18 |
微機電設計分析概念及流程簡介 (楊) (HW#2 Due) |
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第11週 |
11/25 |
****** Midterm Exam ****** |
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第12週 |
12/02 |
結構與流體力學(楊) |
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第13週 |
12/09 |
信號、系統、與雜訊 (楊) |
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第14週 |
12/16 |
Nano-patterning (蘇) |
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第15週 |
12/23 |
******期末報告****** |
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第16週 |
12/30 |
電路回授控制、整體設計與封裝 (楊) |
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第17週 |
1/06 |
***期末創意報告-1**** (蘇) |
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第18週 |
1/13 |
***期末創意報告-2***
Atomic Layer Deposition 原子層沈積技術 |